超高精度旋转台

超高精度旋转台

UARS-A, Ultra Accuracy Rotary Stage- A

超高精度旋转台采用高精度嵌套式双轴气浮轴承,专为角度测量设计;转台双轴采用超精密气浮轴承;通过内、外轴同步运动与独立运动的组合实现内部自校准、外部自动交叉校准,主要用于产生高精度角度与高稳定性角速度;采用三组高精度光栅采集角度,每个光栅配多个读数头实现自校准;配置一套高可靠线性驱动控制系统。