
主轴六自由度误差分析仪
主轴误差分析仪可实时获取被测主轴、转台等回转轴线的几何精度和定位精度的检测结果,具备主轴、转台等回转轴线的旋转定位、轴向、径向及倾斜等六自由度误差测量及其测量不确定度评定等功能。相关评定算法符合GB/T 17421.7、ISO 230-7等现行有效国际、国内通用方法标准。
简介·INTRODUCTION
主轴误差分析仪可实时获取被测主轴、转台等回转轴线的几何精度和定位精度的检测结果,具备主轴、转台等回转轴线的旋转定位、轴向、径向及倾斜等六自由度误差测量及其测量不确定度评定等功能。相关评定算法符合GB/T 17421.7、ISO 230-7等现行有效国际、国内通用方法标准。
特点·FEATURES
01高精度:具备反转法、多点法等高精度数据处理算法
02高效率:六自由度误差一体化测量,测量效率高
03便捷式测评软件:可快速识别误差频段,提供滤波及非线性修正功能,可一体化出具报告
详细参数·DETAILED PARAMETERS
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参数 |
值 |
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线性位移测量 |
位移测量范围:500μm 分辨率RMS:1nm(15Khz) 线性度:0.15%F.S. 位移采样频率:最高15kHz 位移采集通道:不少于6个 |
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角位移测量 |
栅线:9000线 光栅外径:57mm |
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标准器 |
圆度:优于50nm |


