主轴六自由度误差分析仪

主轴六自由度误差分析仪

主轴误差分析仪可实时获取被测主轴、转台等回转轴线的几何精度和定位精度的检测结果,具备主轴、转台等回转轴线的旋转定位、轴向、径向及倾斜等六自由度误差测量及其测量不确定度评定等功能。相关评定算法符合GB/T 17421.7、ISO 230-7等现行有效国际、国内通用方法标准。

简介·INTRODUCTION

主轴误差分析仪可实时获取被测主轴、转台等回转轴线的几何精度和定位精度的检测结果,具备主轴、转台等回转轴线的旋转定位、轴向、径向及倾斜等六自由度误差测量及其测量不确定度评定等功能。相关评定算法符合GB/T 17421.7ISO 230-7等现行有效国际、国内通用方法标准。

特点·FEATURES

01高精度:具备反转法、多点法等高精度数据处理算法

02高效率:六自由度误差一体化测量,测量效率高

03便捷式测评软件:可快速识别误差频段,提供滤波及非线性修正功能,可一体化出具报告

详细参数·DETAILED PARAMETERS

参数

线性位移测量

位移测量范围:500μm

分辨率RMS:1nm(15Khz)

线性度:0.15%F.S.

位移采样频率:最高15kHz

位移采集通道:不少于6

角位移测量

栅线:9000线

光栅外径:57mm

标准器

圆度:优于50nm