
超高精度压电马达转台
具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术;使用先进的制造装调工艺,机械性能突出;搭配多读数头误差反馈补偿技术;采用压电马达驱动,实现纳米级控制以及任意角度分度;配置一套高可靠性驱动控制系统。用于角度量值传递,惯性导航器件测试校准,圆光栅、圆时栅等基础角度编码器测试校准。
简介·INTRODUCTION
具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术;使用先进的制造装调工艺,机械性能突出;搭配多读数头误差反馈补偿技术;采用压电马达驱动,实现纳米级控制以及任意角度分度;配置一套高可靠性驱动控制系统。用于角度量值传递,惯性导航器件测试校准,圆光栅、圆时栅等基础角度编码器测试校准。
特点·FEATURES
01稳定的气膜间隙
02回转精度优于50nm
03高承载和刚度、负载能力80kg
04稳定0.1″分度精度
05纳米级控制,驱动分辨率0.001″
06稳定运行过程
07可根据用户需求定制
详细参数·DETAILED PARAMETERS
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参数 |
值 |
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台面直径 |
320mm |
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承载能力 |
80kg |
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最大转速 |
3rpm |
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回转精度 |
50nm |
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控制分辨率 |
0.001角秒 |
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有效行程 |
360度 |
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定位精度 |
0.1角秒 |


