超高精度压电马达转台

超高精度压电马达转台

具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术;使用先进的制造装调工艺,机械性能突出;搭配多读数头误差反馈补偿技术;采用压电马达驱动,实现纳米级控制以及任意角度分度;配置一套高可靠性驱动控制系统。用于角度量值传递,惯性导航器件测试校准,圆光栅、圆时栅等基础角度编码器测试校准。

简介·INTRODUCTION

具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术;使用先进的制造装调工艺,机械性能突出;搭配多读数头误差反馈补偿技术;采用压电马达驱动,实现纳米级控制以及任意角度分度;配置一套高可靠性驱动控制系统。用于角度量值传递,惯性导航器件测试校准,圆光栅、圆时栅等基础角度编码器测试校准。

特点·FEATURES

01稳定的气膜间隙

02回转精度优于50nm

03高承载和刚度、负载能力80kg

04稳定0.1″分度精度

05纳米级控制,驱动分辨率0.001″

06稳定运行过程

07可根据用户需求定制

详细参数·DETAILED PARAMETERS

参数

台面直径

320mm

承载能力

80kg

最大转速

3rpm

回转精度

50nm

控制分辨率

0.001角秒

有效行程

360

定位精度

0.1角秒